2012年研究カタログ
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■ 研究担当:伊藤寿浩/高松誠一/徳永隆志/内藤皓貴/今井孝彦/大友明宏/山下崇博 ■ 集積マイクロシステム研究センター Macro BEANS連携研究体/ 技術研究組合BEANS研究所 Macro BEANSセンター■ 連携担当:綾信博 メーター級大面積マイクロシステムを実現する集積化技術研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●メーター級大面積入出力デバイス(アンビエントデバイス)の高機能化、低コスト化 ●大面積エネルギーハーベスティングデバイス、3次元フレキシブルシートデバイス ●非真空高品位ナノ機能膜大面積形成プロセス、繊維状基材連続微細加工・集積化プロセス メーター級大面積エネルギーハーベスティングデバイスの大幅な低コスト化とともにマイクロ・ナノ構造搭載による高機能化が期待されています。また、シート型健康管理デバイス等の3次元自由曲面に装着可能な新形態のフレキシブルシートデバイスの実現が望まれています。NEDO「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発(BEANS)プロジェクト」では、これらの新デバイスの製造技術を開発するため、非真空高品位ナノ機能膜大面積形成プロセスと繊維状基材連続微細加工・集積化プロセスの開発を行っています。 局所雰囲気制御下での材料の塗布プロセス技術(プラズマ制御技術、ナノ材料塗布技術)、自己組織化技術などを活用した、非真空薄膜堆積プロセスにより、電子デバイスに適用可能なマイクロ・ナノ構造の高品位機能膜を形成するプロセスを開発しています。また、繊維状基材上に均質な高品位機能膜を連続被覆するプロセス、3次元ナノ構造を連続形成する高速リールツーリールプロセス、異種繊維状基材を製織によって機能化・集積化するプロセスで構成される、フレキシブルシートデバイスを実現する一連の新規製造プロセスを開発しています。●大気圧下でのシリコン成膜技術● 繊維状基材への有機機能膜の連続形成技術/連続加工技術/製織による集積化技術● 特許出願情報2012-009054 (2012/01/19)「電子部品実装用織地、電子部品実装体及びそれを用いた布帛」謝辞: 本研究は、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト」により行われたものです。Macro BEANS研究の全体概要メーター級フレキシブルデバイスの試作例● 研究拠点つくば東354ナノテクノロジー・材料・製造分野東会場N-97N-97

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