2012年研究カタログ
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■ 研究担当:朴載赫/明渡純 ■ 先進製造プロセス研究部門 集積加工研究グル-プ■ 連携担当:明渡純 モバイルプロジェクション用超小型MEMS光スキャナー研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●独自の駆動原理で超高速走査(25kHz以上)と広い走査角度(50度以上)を同時に実現 ●5mm以下の超薄型と体積0.2cm3以下の超小型2次元MEMS光スキャナーの開発に成功 ●超小型プロジェクターを内蔵したスマートフォンや眼鏡型ディスプレイの実現に期待 最近、内蔵型・携帯型レーザープロジェクターなどレーザー光走査型ディスプレイの開発が活発化しています。超小型2次元MEMS光スキャナーを用いたレーザーモバイルプロジェクターは、画像表示機器としての色再現性の高さとともに低消費電力化も期待され、次世代ディスプレイとして注目されています。また、超小型MEMS光スキャナーは、ヘッドマウントディスプレイ(HUD)、ヘッドアップディスプレイ(HMD)や拡張現実(AR)用ウエアラブル型プロジェクターなど様々な応用があり、将来的には、日本のディスプレイ分野で新産業創出への貢献が期待されています。 新規のMEMS駆動方法として、産総研独自の圧電体を用いたラム波共鳴型MEMS駆動原理を考案し、このラム波共鳴圧電駆動原理をベースにした超小型2次元MEMS光スキャナーの開発に成功しています。今回開発したデバイスは、従来の超小型2次元MEMS光スキャナーに比べ、5mm以下の薄さとともに3分の1以下の体積を同時に達成し、高速水平走査側では走査周波数25kHz以上、走査角度50度以上を、低速垂直走査側では走査周波数30-120Hz、走査角度40度以上の2次元走査を実現しています。●デバイスサンプルの提供、共同研究の実施●特許第4691704「光走査装置」●特許第5004245「光走査装置」●特許第4982814「光ビーム走査装置」●特許第4766353「光ビーム走査装置」謝辞: 本研究の一部は、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の「高性能AD圧電膜とナノチューブラバーを用いたレーザーTV用高安定光スキャナーの基盤技術開発」により行われたものです。● 研究拠点つくば東330ナノテクノロジー・材料・製造分野東会場N-73N-73

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