2012年研究カタログ
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■ 研究担当:長谷川雅考 ■ ナノチューブ応用研究センター ナノ物質コーティングチーム■ 連携担当:長谷川雅考 グラフェン透明導電膜研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●産総研オリジナルのマイクロ波プラズマCVD技術 ●低温合成・高速・大面積による工業生産に適したロールTOロール合成法を開発 ●酸化インジウムスズ(ITO)に代わる透明導電膜材料としての利用を目標■ タッチパネルや液晶ディスプレイ・太陽電池などには透明導電膜材料が必要です。■ 現在使用されるITOはインジウムの資源問題による課題があります。一方グラフェンはユビキタス元素である炭素から構成され、透明導電膜として幅広い工業的利用が期待される先端ナノ材料です。■ グラフェンの透明導電膜として工業利用のためには、ロールTOロール合成法に代表される大量生産手法の確立が必須です。■ マイクロ波プラズマCVD技術によるグラフェンの低温合成法(成膜温度300℃)を開発しました。■ 本手法は熱CVD(1000℃)による合成と比較して低温かつ高速であり工業生産手法として有利です。■ この手法を用いて、幅300mmの銅箔を基材としたグラフェンのロールTOロール合成に成功しました。■ 銅箔から透明フィルムへのグラフェン転写法を高度化し、高品質な静電容量型タッチパネルを試作しました。正常な動作を確認し、透明導電膜材料としてのグラフェンの可能性を実証しました。●タッチパネル、フレキシブルデバイス●ロールTOロール合成●太陽電池用等透明電極●配線材料、熱伝導材料謝辞: 本研究の一部は、NEDO「希少金属代替材料開発プロジェクト/透明電極向けインジウムを代替するグラフェンの開発/グラフェンの高品質大量合成と応用技術を活用した透明電極向けインジウム代替技術の開発」の委託を受けたものです。�グラフェンロールTOロール合成装置幅300mmのグラフェン透明導電フィルムグラフェンを利用したタッチパネル● 研究拠点つくば中央275ナノテクノロジー・材料・製造分野第6会場N-18N-18

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