2012年研究カタログ
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研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財電子線による微細構造描画装置トレーニングナノテク製造中核人材育成事業スクール講義 NPFとGreFONは、次の8サービスを提供しています。①技術相談 ②装置利用 ③技術支援④装置育成支援 ⑤実地研修 ⑥人材育成⑦情報発信 ⑧ネットワーキング謝辞: 本研究の一部は文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム事業」と「低炭素社会構築に向けた研究基盤ネットワーク事業」として行われているものです。 産総研が社会と共有する研究支援・技術移転・人材育成の場としてのNPFとGreFONを情報通信・エレクトロニクス、環境・エネルギー、医療・ライフサイエンス・バイオ、フォトニクス、NMEMSなど幅広い分野の産学官研究者に公開しています。わが国の「ナノテクノロジープラットフォーム」における「微細加工共用施設」の一翼としての機能を果たすことにより、ナノデバイスセンターが別事業所にて運営しているナノデバイス実証・評価ファンドリーとの連携のもとナノテクノロジーを共通基盤技術とした異分野融合による世界的なイノベーション創出拠点の形成を目指します。 ナノデバイスセンターでは関連研究ユニットとの協力のもと「ナノプロセシング施設(Nano-Processing Facility, NPF)」と「機能性酸化物グリーンナノテクノロジー研究拠点(Platform for Green Functional-Oxide Nanotechnology, GreFON)」をイノベーション・コアインフラ施設として運営しています。電子線や紫外線を用いたリソグラフィー、エッチング、製膜、微細構造観察、構造・物性測定、集束イオンビーム加工・観察等の装置を駆使して、先端的な材料・デバイスの微細加工から機能検証までを一貫して推進して異分野融合によるイノベーション創出を目指します。 ●微細加工ナノテクノロジープラットフォーム、情報発信、オープンイノベーション ●超微細加工から計測・分析まで最先端機器とノウハウを備えた共用施設 ●技術相談、装置利用、技術支援、実地研修、人材育成スクールを提供■ 研究担当:秦信宏/宮田直之/島久/三沢源人/浅沼周太郎 ■ ナノデバイスセンター 事業推進室■ 連携担当:秦信宏 ナノプロセシング施設(NPF)● 研究拠点つくば中央253情報通信・エレクトロニクス分野第3会場I-88I-88

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