2012年研究カタログ
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■ 研究担当:村田和広/尾上美紀/所和彦/牛島洋史 ■ フレキシブルエレクトロニクス研究センター 機能発現プロセス/先進機能表面プロセス/ フレキシブル有機半導体チーム■ 連携担当:鈴木英一 印刷とめっきによる電極・配線形成法研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●高温焼成を必要としない微細な電極や配線の印刷による形成法を開発 ●真空や環境負荷の高い化学薬品を使わない省エネ・省資源なプロセス技術 ●難めっき材料への微細めっきパターン作製に成功 省エネ・省資源・低環境負荷は「ものづくり」においても重要なキーワードです。この考えにもとづき、印刷技術をエレクトロニクスデバイスの作製に応用する研究が盛んですが、電極や配線を導電インクを使って印刷する際に、焼成という高温を必要とする処理が必要なため、その実用化を阻んでいます。 真空も高温も強烈な化学薬品も使わない「無電解めっき」という方法は10μmよりも細かいパターニングは困難でした。そこで、印刷技術と無電解めっき法を組合せ、エコロジカルで高精細な電極・配線形成法を開発しました。 省エネ・省資源・低環境負荷なプロセスによってエレクトロニクスデバイスを作製しようというプリンテッドエレクトロニクス技術において、パターニングされた導電インクの抵抗値を下げるための熱処理温度を下げることは、極めて重要な課題です。われわれは、プロセス技術からこの課題に取り組み、スーパーインクジェット法やマイクロコンタクトプリント法によって無電解めっきの核剤インクを精緻にパターニングした後、無電解めっきを施すことで、100℃以下でも配線や電極を作製する技術を開発しました。この方法で10μm以下の細線も作製できます。● スーパーインクジェット法による超微細オンデマンドパターニング技術● マイクロコンタクトプリント法による超微細繰り返しパターニング技術● ペンタイプリソグラフィによる極微細パターニング技術スーパーインクジェット法による無電解めっき用核剤インクのパターニング例(線幅:10μm)マイクロコンタクトプリント法によって無電解めっき用核剤をパターニングしたPETフィルム(左)、そこにニッケルめっき(中央)、更に銅めっき処理(右)を施した試料の顕微鏡写真(線幅:10μm)● 研究拠点つくば中央246情報通信・エレクトロニクス分野第3会場I-81I-81

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