2012年研究カタログ
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■ 研究担当:牛島洋史/山本典孝/野村健一/日下靖之/粕谷陽子/藤田真理子/岩瀬典子 ■ フレキシブルエレクトロニクス研究センター 先進機能表面プロセスチーム■ 連携担当:鈴木英一 電極・配線形成のための微細印刷技術研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●常温常圧でエレクトロニクスデバイスを作製するための高精細印刷技術を開発 ●トランジスタなどの超微細な電極を印刷するマイクロコンタクトプリント法 ●大きな電流が流れる配線を高効率に印刷するスクリーン・オフセット印刷法 われわれは、印刷によってエレクトロニクスデバイスを作製しようとするプリンテッドエレクトロニクスの技術開発において、超高精細な印刷法であるマイクロコンタクトプリント法の研究を進めてきました。 トランジスタ内部の電極やディスプレイの周囲の配線など、太さや厚みが大きく異なる電極や配線を同じ方法で形成することは困難です。そこで、多少時間をかけても高精細に印刷する必要がある部分と、精細さよりも効率よく印刷できることの方が好ましい部分との、それぞれに適した印刷法を開発することを目指しました。 マイクロコンタクトプリント法は1μmよりも精細なパターニングが可能である反面、大面積に連続で印刷することは困難です。逆に、大面積に連続で印刷するのに適したスクリーン印刷は精細さに欠けるという問題がありました。そこで、トランジスタの電極のような精細さを必要とする部分はマイクロコンタクトプリント法で、長い配線はスクリーン・オフセット法によって刷り分けることで、効率よくエレクトロニクスデバイスを印刷するために必要となる、インク化技術や表面処理技術、評価技術などの要素技術を開発しました。●マイクロコンタクトプリント用超微細刷版の作製技術● マイクロコンタクトプリント法による超微細パターニング技術● スクリーン・オフセット法による配線・電極の形成技術(特許出願準備中)マイクロコンタクトプリントによる導電インクのパターニング(線幅:0.8μm)スクリーン・オフセット印刷による配線(左)と配線の断面形状(右上:スクリーン・オフセット、右下:通常のスクリーン印刷)● 研究拠点つくば中央245情報通信・エレクトロニクス分野第3会場I-80I-80

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