2012年研究カタログ
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■ 研究担当:粟津浩一/藤巻真 ■ 情報通信エレクトロニクス分野■ 連携担当:鈴木英一 酸化膜表面ナノ加工量産技術の開発【酸化物アライアンス】研究のポイント研究のねらい研究内容連携可能な技術・知財 ●産総研の開発した導波モードセンサは高感度、小型可搬、その場検出センサ ●直径30nm, アスペクト比10、均一口径のナノ孔形成が可能 ●ArF液浸リソグラフィーによる微細加工を導入し、量産、高信頼性を付与させる 産総研発の技術である導波モードセンサは、小型、迅速、その場測定装置として既に企業より発売されています。これまでの実績としてインフルエンザウイルスの亜種(H3N2, H1N1)の識別、同定、ppbレベルの水中の微量重金属の検出などに成功してきました。しかし、現在の微細加工は重イオンビームを用いたプロセスによっています。今後、導波モードセンサを社会に還元する上で、量産化、高信頼化は不可欠です。そこで、ナノデバイスセンタに蓄積されたノウハウを用いて、ArF液浸リソグラフィーを用いたプロセスへ転換を行ない、社会実装を加速します。 水源汚染の有無の分析は大量の水を濃縮し、質量分析することで高感度化を行っています。しかし、大量の水の採取しラボに持ち帰り分析を行うことは大変な労力を要し、かつその場分析にはなっていません。そこで、導波モードセンサを用いて、ppbレベルの鉛イオンの検出を行っています。光学系を図に示しました。検出チップには直径数十ナノメートル、アスペクト比10の均一径ナノ孔が形成されています。キレート剤でPbイオンを捕獲し、電場で還元し金属化することで、環境基準濃度以下の鉛濃度(0.01mg/l)の検出に成功しました。● 「光導波モードセンサ」特許第4595072● 「酸化膜を用いた光導波モードセンサ及びその製造方法」特願2007-004108● 「細孔付き光導波モードセンサ」特願2006-224546● K. Awazu et al., Opt. Express, 15, 5, 2592 (2007) .謝辞: 本研究の一部は、NEDO産業技術助成事業により行われました。導波モードセンサの光学系ナノ孔形成の例● 研究拠点つくば中央203情報通信・エレクトロニクス分野第2会場I-38I-38

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