独立行政法人 産業技術総合研究所
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2013年03月01日 主な研究成果
出版物 		ナノエレクトロニクス研究部門
 情報通信・エレクトロニクス

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研究ユニット
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分野
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2012年09月11日 プレスリリース
主な研究成果
今回開発したシミュレーション技術の概念図微細シリコンデバイスのための3次元応力解析シミュレーター
−光学顕微鏡を使ってナノメートルレベルで解析−
ナノエレクトロニクス研究部門
 情報通信・エレクトロニクス

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