独立行政法人 産業技術総合研究所
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2010年11月09日 プレスリリース
主な研究成果 		先進製造プロセス研究部門
 ナノテクノロジー・材料・製造

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2011年06月01日 主な研究成果
出版物
極微量を精密に測定できる超音波流量計
半導体製造装置の性能を向上させ、ランニングコストを削減
先進製造プロセス研究部門
 ナノテクノロジー・材料・製造

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