産総研と日本電子株式会社が共同開発した「大気圧走査電子顕微鏡」が、「R&D 100 Award for 2010」を受賞し、2010年11月11日に米国オーランドで開催された授賞式で同賞を授与されました。
「R&D 100 Award」は、米国のR&Dマガジン社が主催し、過去1年間に実用化された最も優秀な製品・技術を100件選出し表彰するものです。1963年から「技術の優位性」を評価基準の鍵として本表彰を行ってきた歴史があり、さまざまな優秀な製品・技術に授与されています。受賞対象名: 大気圧走査電子顕微鏡(Clair ScopeTM)
概要:
全く新しい電子顕微鏡であり、今までの真空での観察と違ってサンプルを水や気体中などの開放された自然な状態で撮影できる。同時に、それを実現した技術が電子顕微鏡を倒立させる点と、分野的にかけ離れた半導体製造用薄膜加工技術である点が、極めて独創的である。
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