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先進製造プロセス研究部門の明渡純 集積加工研究グループ長が「エアロゾルデポジション法」というコーティング手法の発明と、NEDO「ナノレベル電子セラミックス低温成形・集積化技術」プロジェクトでの応用開発によって表記4つの大きな賞を受賞しました。 「エアロゾルデポジション法」とは、固体状態のセラミックス微粉末を常温で基板に吹き付けることによって、加熱することなく機械的な衝撃力だけで、緻密かつ高透明、高強度、高密着力のセラミックス被膜を常温形成するもので、従来の成膜法に比べて飛躍的な成膜速度の向上とプロセス温度の低下を実現する手法です。 参考:産総研TODAY Vol.4, No.122004年5月20日発表プレスリリース |
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