超耐熱性のケイ素系ポリマー

1．目的と効果

　耐熱性ポリマーは、その使用条件が厳しくなるにつれ、より高度な性能を要求されつつあります。しかし、従来の有機ポリマーでは限界があるため、本来的に耐熱性の高い無機ブロックを導入した有機・無機ハイブリッドポリマーを合成し、その可能性を試験しています。
　本研究では、特に、有機ケイ素ポリマーに注目し、耐熱性が期待できるオクタキス（シルセスキオキサン）ブロックと、ジイン、ジエン等不飽和二官能性有機モノマーのヒドロシリル化共重合により、高機能な有機・無機ハイブリッドポリマーを開発しました。

［適用分野］
　● 耐熱膜　● 絶縁膜　● レジスト膜 等

2．技術の概要、特徴

　オクタキス（ヒドリドシルセスキオキサン）（T₈）と1,3−ビス（フェニルエチニル）ベンゼンの共重合体（T₈−ジイン）は、熱重量分析TGAで窒素中5%重量減温度（ T_d5）が1000℃を超え、また空気中T_d5が584℃と、高い熱安定性を持つもので、有機溶媒可溶であり、スピンコート等で薄膜とした後、熱硬化することにより、密着性の良い硬い透明膜となります。この膜は吸湿性が無く、比誘電率は2.4〜2.6の値を示します。
　また1,3−ジビニル−1, 1, 3, 3−テトラメチルジシロキサンとの共重合体（T₈−ジエン）は、100℃程度の融点を示し溶融成型が可能であり、いったん硬化した物は融解しなくなります。耐熱膜、絶縁膜、レジスト膜等の用途を期待しています。

3．発明者からのメッセージ

　本ポリマーは高い耐熱性と溶媒可溶性を併せ持つ、特徴あるポリマーと考えています。ポリマーの合成法は確立していますが、共同研究等によって用途開発をして下さる方を募集しています。