産総研：フォトアーカイブ　エレクトロニクス・製造

　これまでの常識を覆し、セラミックスを焼くことなく、常温で固めて膜をつくるコーティング技術「エアロゾルデポジション法（AD法）」を東陶機器株式会社と共同で開発しました。

　セラミックスの微粒子をガスと混ぜ、減圧した状態でノズルから噴射させ、エアロゾルジェットとして基板に衝突させて膜を形成します。セラミックス微粒子の径が数μm以下の場合に、衝突による粒子の壊れ方が大きく変化することが成膜の鍵で、世界で初めて常温で、かつ結合剤を用いずにセラミックス微粒子を固化し、焼結体と同等の電気機械特性をもつセラミックス厚膜の形成を実現しました。

　熱に弱い金やガラス、プラスチックとの複合化・集積化、窯業プロセスの省エネ化を実現する技術として注目されています。