走査プローブ顕微鏡技術の研究
[研究担当者] 山田　啓文（現在、京都大学）、中山　貫
[共同研究者］東京大学　物理工学科、
　　　　(株)ニコン　生産技術本部技術開発部
　　　　日本電信電話株式会社　境界領域研究所、
　　　　(株)三菱化学　総合研究所　薄膜研究所

　[研究内容] 　機能性高分子薄膜材料等の分子スケールでの機能・構造解析技術はいまだ十分確立されておらず、こうした分子薄膜材料のミクロ評価技術が求めらている。本研究においては、ナノメ−トルスケールの高い空間分解能を持つ有機分子薄膜観察用の走査型プロ−ブ顕微鏡（ＳＰＭ）の開発を目的として、大気動作走査型プロ−ブ顕微鏡に関する研究及び超高真空ＡＦＭに関する研究を行う。
　有機分子薄膜の観察
　表面力変調法が可能なＡＦＭを新たに開発した。表面力変調法により基板および膜内部の力学的状態が異なる部分を10nmレベルで識別することができた。
　ＵＨＶＡＦＭ／ＳＴＭ
　半導体等試料など、表面エネルギーの極めて高い清浄表面を観察可能な、振動検出法非接触動作のＡＦＭを開発し、清浄Si(111)面の単原子 ステップ構造の観察像を得ることに成功した。

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