ナノプローブ用絶対スケールの実現技術の研究
　ＳＴＭ、ＡＦＭ等の走査型顕微鏡は原子の形を観察できるほど高感度であるが、今までのところ正確な長さのスケールを持っていなかった。本研究は、光波干渉計をこれらのナノプローブに付加しサブナノメートルオーダーまでの光波長に基づいたスケールを実現することである。
　ＳＴＭを位置検出プローブとし，試料位置を絶対測定する超小型光波干渉計を備えたナノメートル寸法測定装置をニコンと共同で開発した。ナノメ-トルパターンのトポグラフ像を得ながら同時に寸法をアトミックスケールで絶対測定でき，これからのナノメートル計測のプロトタイプとなりうる装置である．

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