ＳＰＭによる極微小圧痕計測技術の研究
［研究担当者］三沢源人、山田啓文（現在、京都大学）、清野豊（力学部）、中山貫
［研究内容］ビッカース微小かたさ試験の電子顕微鏡での高さ情報の不足をおぎなうため、原子間力顕微鏡等で圧痕の観察を行う。これにより圧痕形成時の現象を解明し、試験の不確定要素を除くことを目的とする。６年度はSi及びGaAs表面に形成したビッカース圧痕周辺の微細構造を観察し、周辺のクラックの形状とその方向の傾向に、結晶構造の違いを反映しているとみられる差異を見いだした。
測定原理図


得られた圧痕のイメージ

---

精密計測研ホームページに戻る