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| 平成12年11月22日 | 「ＩＴＳ自動運転車両群による協調走行技術のデモ公開」 デモ２０００ | |
| 平成12年06月20日 | 「マイクロ旋盤のＮＣ化に成功」 図面を形に！ | |
| 平成12年04月10日 | 「ポータブルマイクロファクトリ」（背負子で運べます）４月２０日一般公開 | |
| 平成12年01月28日 | ミニデモ９９「自動運転車両による協調走行と車々間走行データ伝達の基礎実験」 | |
| 平成11年12月13日 | 機械技術研究所 環境ISO14001認証取得 | |
| 平成11年11月29日 | 小型半導体Ｘ線センサで微小構造物の高速透過による可視化に成功 | |
| 平成11年10月22日 | 磁気フリー手術支援ロボットの動作試験に成功 | |
| 平成11年10月06日 | 世界初！ デスクトップタイプの機械加工マイクロファクトリ | |
| 平成11年06月10日 | スマートセンサと可変焦点レンズを用いた実時間全焦点マイクロカメラを開発 | |
| 平成11年06月02日 | 超微粒子高速堆積法で電子機能セラミックスの低温厚膜化に成功 | |
| 平成10年12月01日 | 世界初の「マイクロファクトリー国際ワークショップ」の開催 | |
| 平成10年10月08日 | 工具測定と再研削機能を内蔵したマシニングセンタを開発 | |
| 平成10年09月25日 | 世界初！ ２足型脚車輪移動システムを開発 | |
| 平成10年06月01日 | 液体自身を弁として使う双方向マイクロポンプの試作に成功 | |
| 平成09年11月11日 | 数ミクロンの微小部品の組立に成功−微量接着剤塗布によるマイクロ接着− | |
| 平成09年09月04日 | 分散ユニット機械の自己修復実験に成功 | |
| 平成08年11月05日 | 高速旋削による任意の３次元形状加工を可能に | |
| 平成08年08月07日 | 世界最小のマイクロ旋盤の開発に成功 |
