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司 会 ： 極限技術部長 竜江 義孝
23．10:20〜10:40 AE発生時間間隔の測定による転がり軸受の異常診断
吉岡 武雄＊・是永 敦＊・○間野 大樹＊＊
（＊極限技術部精密機構研究室）（＊＊東京農工大学大学院）
ラジアル玉軸受において転がり疲れの進展により発生するAEには各部品の相対運動に基づく固有の周期性がある。本研究では、転がり疲れの実験でAE発生時間間隔を測定し、その周期性を基に異常発生部品を特定した。
24．10:40〜11:00 均一系電気粘性流体の弾性流体潤滑特性に関する研究（第２報）
○是永 敦＊・吉岡 武雄＊・新保 栄一＊＊
水谷 八郎＊＊＊・菊地 勝男＊＊＊
（＊極限技術部精密機構研究室）（＊＊千葉県機械金属試験場）
（＊＊＊極限技術部部付主任研究官）
弾性流体潤滑領域における電場の状況を明らかにするために、電気力線観察装置を試作して実験を行ない、数値解析との対応も検討した。その結果両者は定性的に一致し、潤滑制御の指針が得られた。
25．11:00〜11:20 鋼の転がり疲れの研究（内部起点の初期クラック発生機構について）
○三由 久＊・津布久 武次＊
（＊極限技術部精密機構研究室）
二円筒転がり接触試験では、所定のヘルツ圧力以上の負荷条件下で、交番せん断応力の最大値深さ位置よりやや深い位置にひずみ硬化の最大値が観測され、時にはクラックが観測される。その原因を明白にする。
26．11:20〜11:40 高歯平歯車の動力損失について（歯の形状の影響）
○水谷 八郎＊（＊極限技術部部付主任研究官）
高歯平歯車対において、大歯車は歯形無修整とし、小歯車には歯形修整と歯幅方向の両端部に大きな面取りを与えて運転した。歯車系の温度上昇から計算した動力損失を基に損失要因を分離し、歯の形状の影響を解析した。
27．11:40〜12:00 光アクチュエータ素子の材料特性の研究（第１報−PLZTの結晶構造）
○一木 正聡＊・明渡 純＊＊・森川 泰＊＊＊・石川 雄一＊
（＊極限技術部微小機構研究室）（＊＊生産システム部生産機械研究室）
（＊＊＊物理情報部計測制御研究室）
光アクチュエータとして適用することを目的としたPLZTの作製と材料特性の相関を調べ、機能発現機構の解明を目指した研究を行っている。本報では、PLZTの結晶構造をX線回折により調べた結果について報告する。
《 昼休み 》
28．13:30〜13:50 切り欠き付き切れ刃によるリブ加工
○伊藤 哲＊・宮澤 伸一＊＊
（＊生産システム部生産情報研究室）（＊＊生産システム部部付主任研究官）
アルミ合金に小型のリブ加工を行う際に、エンドミルのインサートにダイヤモンド砥石でリブの断面形状を切り欠きとして成形し、その工具で加工を行った。切り欠き側面の逃げ角をつけなかった場合について報告する。
29．13:50〜14:10 ２次元突起配列上の引き離し力分布の測定
○安藤 泰久＊・石川 雄一＊・北原 時雄＊＊
（＊極限技術部微小機構研究室）（＊＊極限技術部部付研究官）
FIBを用いて、シリコン表面に微小突起の配列を作成し、そのパターン上の引き離し力の分布を先端が平坦なAFMプローブを用いて測定した。その結果、相対湿度とともに接触点が増加することが明らかになった。
30．14:10〜14:30 金イオン注入シリコンのKOHエッチング特性
○中野 禅＊・小木曽 久人＊＊・矢部 彰＊
（＊極限技術部量子技術研究室）（＊＊融合研アトムテクノロジーＧ、機械研併任）
3MeV金イオンをシリコンウエハーに注入した材料のKOHエッチング特性を調べた。注入ドーズを変化させた場合、1×1016cm-2のドーズ異常で大きなエッチストップ効果が得られる事が分かった。
31．14:30〜14:50 シンプレックス法を用いた逆解析による弾性表面波の音速からの弾性率推定
○佐藤 治道＊・西野 秀郎＊＊・長 秀雄＊＊＊・小木曽 久人＊＊＊＊
山中 一司＊＊＊＊＊
（＊極限技術部量子技術研究室）（＊＊凸版印刷桝麹研究所）
（＊＊＊青山学院大学）（＊＊＊＊融合研アトムテクノロジーＧ、機械研併任）
（＊＊＊＊＊東北大学）
弾性表面波は表層の評価に用いられてきた。弾性定数の評価のため我々はモンテカルロ法とシンプレックス法を組み合わせた新しい逆解析法を開発した。そこで、我々は実験で得られたSiの音速から弾性定数を推定してSiの報告されている弾性定数と良く一致することを確認し、この手法を水晶の弾性定数の推定に適用した。
《 休憩20分 》
32．15:10〜15:30 単分子有機薄膜へのイオン照射効果（第１報）
○小木曽 久人＊・石田 敬雄＊＊・水谷 宣＊＊＊
中野 禅＊＊＊＊・徳本 洋志＊＊＊＊＊
（＊融合研アトムテクノロジーＧ、機械研併任）（＊＊オングストロームテクノロジー研究機構）
（＊＊＊融合研アトムテクノロジーＧ）（＊＊＊＊極限技術部量子技術研究室）
（＊＊＊＊＊融合研、首席研究官）
金（１，１，１）面をアルカンチオール溶液に浸すと、その表面に単分子薄膜が形成される。この発表では、この膜状に高エネルギーイオンを照射した時の表面物性変化を、STM等を用いて評価した。
33．15:30〜15:50 マイクロ工作機械の研究 −アクチュエータ内蔵式マイクロスライダの運動特性−
○金子 弘樹＊・岡崎 祐一＊＊・北原 時雄＊＊＊
石川 雄一＊＊＊＊・仲野 雄一＊
（＊湘南工科大学）（＊＊生産システム部生産機械研究室）
（＊＊＊極限技術部部付主任研究官）（＊＊＊＊極限技術部微小機構研究室）
マイクロ施盤のNC化と加工精度の向上を図るために必要な、マイクロスライダの運動特性とその駆動パラメータとの定量的関係を実験により調べ、0.1ﾘの分解能で位置決めできる駆動制御条件を明らかにした。
34．15:50〜16:10 マイクロ工作機械の研究 −小形高速主軸の開発と切削実験−
○吉田 秀治＊・北原 時雄＊＊・石川 雄一＊＊＊
荒牧 宏敏＊＊＊＊・野口 卓也＊
（＊日本工業大学）（＊＊極限技術部部付主任研究官）
（＊＊＊極限技術部微小機構研究室）（＊＊＊＊日本精工梶j
最高回転速度105rpmのモータ内蔵型小形高速主軸を開発した。さらに、この主軸を使用して小径寸法材料の切削実験を行い、切削面の表面粗さや真円度に及ぼす回転速度の影響等を調べた。